第二站,沪港微电子装备制造集团。
从商飞出来,三辆车沿着园区主干道往南开了不到十分钟,就到了微电子装备集团。
这家企业更加低调,没有气派的门头,没有显眼的logo,甚至连公司名称都只是在一块灰色花岗岩上用小号字体刻着公司名。
要不是赵功成的手下提前打了招呼,董远方差点以为走错了地方。
集团董事长兼首席科学家林远山在门口等着。
林远山六十五岁,已经过了退休年龄,但还在岗位上撑着。
他是华夏光刻机领域最资深的专家之一,二十多年前从国外回国,在这个领域一干就是大半辈子。
他身材瘦小,穿着一件洗得发白的蓝色工装,脸上的皱纹像刀刻的一样深,但一双眼睛异常明亮,眼神里带着一种长期在技术一线钻研的人特有的专注和锐利。
“董主任,赵局长,欢迎来微电子装备。”
林远山的声音不大,但清晰有力,带着江南口音。
董远方双手握住林远山的手,感受到老人手心粗糙的茧子。
那不是坐办公室的手,是常年跟设备打交道的手。
进去之后,林远山没有带他们去展厅,而是直接进了会议室。
会议室不大,一张长方形的桌子,桌上摆着几台电脑和一堆散落的图纸。墙上没有挂任何荣誉牌匾或领导合影,只有一块白板,上面密密麻麻写满了技术参数和计算公式,有些地方被反复擦写过,痕迹斑斑。
林远山坐下来,没有寒暄,直接进入正题。
“董主任,我们集团的主业是光刻机。”
他从桌上拿起一份材料,翻了翻,又放下了,好像觉得看材料太慢,直接用嘴说更痛快:
“光刻机这个东西,是半导体制造最核心、最复杂、最昂贵的设备。全世界能造光刻机的国家,一只手数得过来。西欧和倭国,还有我们,但我们的水平和他们家比,差距巨大。”
他站起来,走到白板前面,拿起一支黑色马克笔,画了一条横线,在最右边写了个数字“7”。
“这是目前国际最先进的水平——7纳米。采用极紫外光刻技术,已经可以稳定量产7纳米芯片,正在往5纳米、3纳米推进。”
林远山在横线的左侧又画了一个点,标上“90”。
“这是我们的水平——90纳米。我们量产的光刻机,目前成熟度最高的型号,采用深紫外光刻技术,套刻精度、产出率、稳定性,跟西欧的设备差了至少两代。不对,不是两代,是二十年。”
他在7和90之间画了一根箭头,在箭头上方用力地写了两个字——“差距”。
会议室里没有人说话。
赵功成放下茶杯,老钱摘下了眼镜,用衣角慢慢地擦着。
赵一鸣的笔停在半空中,迟迟没有落下。
林远山转过身来,面对着大家,双手撑在会议桌的边缘。
他的表情很平静,但声音里带着一种压抑了很久的情绪,不是愤怒,也不是委屈,更像是一种沉重的、无法对人言说的无奈。
“我说二十年,不是随便说的。1992年,西欧推出了第一代浸没式光刻机,那一年我们还在研究干式光刻。2001年,他们极紫外光刻原型机问世,我们连深紫外的193n光源还没真正吃透。到了今年,西欧已经交付了几十台极紫外光刻机,每台售价超过一亿欧元,客户排队等着要。我们呢?我们还在90纳米上苦苦挣扎,连65纳米的量产稳定化还没做到。”
他停顿了一下,深吸一口气。
“董主任,我给您一个最直观的数字。他们一年的研发投入,大概在二十亿欧元左右。我们呢?我们整个集团的年营收还不到二十亿本币。差距不是一个数量级,是八十倍。”
董远方的手指在笔记本上停下来,他看着自己刚写下的那几个字,二十亿欧元对二十亿华夏币,脑子里飞快地换算了一下汇率,然后在这个数字上画了一个重重的红圈。
林远山走回座位坐下,双手交叉放在桌上,目光落在面前的空处,像是在回忆什么。
“我做光刻机做了二十三年。刚回国那会儿,意气风发,觉得咱们华夏人什么都能造,两弹一星都造出来了,一个光刻机算什么?干了五年,发现不对,这个东西比两弹一星还难。两弹一星是一个封闭系统,你可以集中力量办大事,把所有资源砸进去,攻克一个又一个堡垒。但光刻机不是封闭系统,它是全球产业链协作的产物。西欧的机器里,光源是美利坚的,镜头是普鲁士蔡司的,工作台是西欧自己做的,控制系统是普鲁士的。全世界最顶尖的技术,集成到一台设备上。我们要从头做,等于要用一己之力,对抗整个西方工业体系的合力。”
他抬起头,看着董远方,目光里有一种说不清道不明的东西——是悲壮,也是倔强。
“但我不认命。”
林远山的声音忽然提高了一些:
“我们确实落后二十年,但我们不是原地踏步。过去五年,我们在浸没式光刻的液控系统、双工件台技术这两个关键分系统上,取得了重大突破。如果后续的研发投入能跟上,我们有希望在五年内实现65纳米的量产稳定化,十年内攻到28纳米。至于7纳米、5纳米的极紫外光刻路线的追赶,可能还需要更长的时间,也许是二十年,也许是三十年。”
他顿了顿,语气忽然沉了下来:“前提是,我们还能再撑二十年,我们的工业门类必须逐步齐全。”
最后一个字落地,会议室里安静得能听见空调出风口的嗡嗡声。
董远方沉默了很久,突然,“齐全完整的工业门类”一词,在他耳边不断回旋。
他感觉自己之前的思路并不完整。
他一直集中于工业升级、解决“卡脖子”、完善高新科技产业链、制造业不强等问题。
而今天,林远山一句“工业门类逐步齐全”的建议,让他如醍醐灌顶,突然增加了一个新思路。
座谈结束,他便直接给苏景行去了电话,让通知下去,各小组注意搜集各区域“工业门类齐全”的资料。