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正文 第461章 刻在硅片上的反击
    2019年1月15日。美国华盛顿特区。商务部工业与安全局。

    罗伯特·莱特站在满是闪光灯的发布会现场,身后是一面巨大的美国国旗。他的表情严肃,像是一位正在宣判异教徒死刑的法官,眼神中透着一股毫不掩饰的傲慢与冷酷。

    “鉴于向阳集团长期以来对美国国家安全构成的潜在威胁,以及其在资金来源上的不透明行为。”

    罗伯特的声音通过麦克风传遍全球:

    “美国商务部决定,将向阳集团及其下属的72家关联公司,正式列入‘实体清单’。”

    “从即日起,任何美国公司,或使用美国技术占比超过25%的外国公司,在未获得许可证的情况下,禁止向向阳集团出口任何商品、软件和技术。”

    这一刻,图穷匕见。

    台下的记者们窃窃私语。大家都知道,这其实是“补刀”。

    早在两年前,谷歌的GMS服务就已断供,逼得向阳搞出了XMS;三年前,Synopsys和ce的EDA软件授权就已终止,逼得向阳启用了国产的EDA;两年前,台积电更是迫于压力停止了先进制程代工。

    “罗伯特先生,”一名路透社记者提问,“向阳集团似乎在之前的制裁中活了下来。这次的实体清单,有什么不同?”

    “问得好。”

    罗伯特冷笑一声,“之前我们切断的是他们的‘手脚’,也就是代工和软件,他们靠着所谓的‘自研精神’还在挣扎。但这一次,我们切断的是‘空气和水’。”

    他竖起手指:

    “陶氏化学的光刻胶、应用材料的备件、杜邦的抛光液、KLA的检测设备维护……甚至是他们工厂里的一颗螺丝钉。”

    “林向阳不是想搞全产业链自研吗?我现在把整个供应链都给他禁了。我看他在那个贵州的山洞里,能用石头磨出芯片吗?”

    ……

    同日。中国北京,向阳大厦。

    虽然向阳集团作为非上市公司,没有股价的直接波动,但这场海啸瞬间席卷了整个A股市场。

    交易大厅的大屏上,一片惨绿。

    凡是与向阳集团有业务往来的“向阳概念股”遭遇了毁灭性打击。东方光电跌停。亚迪跌幅超过8%。就连刚刚宣布光刻胶突破的大南光电,也被恐慌情绪带崩,重挫7%。

    整个资本市场都在用脚投票——没有人认为一家企业能在失去全球供应链的情况下存活,哪怕它是向阳集团。

    大厦顶层,CFO办公室。

    苏清河坐在办公桌后,手边的红色电话一直在响。那是各大银行行长和供应链伙伴打来的,大家都在问同一个问题:“向阳还能撑多久?”

    “撑多久?”

    苏清河挂断电话,看着窗外阴沉的天空,嘴角勾起一抹坚毅的弧度。

    “撑到天亮。”

    她转身打开保险柜,取出一份早已准备好的绝密备忘录。那是林向阳在去贵州前留下的指令——“备胎计划·供应链篇(终极版)”。

    “通知采购部。”苏清河按下内线电话,声音冷静得令人心安。

    “启动B计划。所有美系材料供应商,立刻剔除。抛光液切换为‘安集科技’;特种气体切换为‘华特气体’。......”

    “苏总,那些国产材料还在测试阶段,良率不稳定啊……”采购总监在电话里犹豫。

    “没时间测试了。上产线,边用边调!”

    苏清河斩钉截铁,“另外,通知梁国栋的芯片设计团队。彻底切断与外界的一切网络连接。”

    ……

    贵州黔南深山,“夸父”基地。地下400米,1号光束线洁净室。

    外界的惊涛骇浪,被厚重的岩层隔绝在外。这里只有机器的轰鸣和令人窒息的紧张感。

    虽然“夸父”光源已经点亮,那束1200瓦的EUV光已经就位。但这只是万里长征的第一步。

    要把光变成芯片,中间还隔着一道天堑——光刻工艺。

    此时,梁国栋教授正趴在光刻工作站的观察窗前,眼睛里布满了血丝。

    “第53次曝光失败。”

    操作员的声音带着绝望,“梁博,光强太大了!SSMB光源的功率是ASML的五倍。这简直就是火焰喷射器!国产光刻胶的耐热性不够,光还没来得及感光,直接就碳化了!晶圆表面全是烧焦的痕迹。”

    梁国栋痛苦地抓着头发。

    以前用的光刻机,他们嫌光源功率小(250瓦),曝光慢,产能低。现在林向阳搞出了个SSMB加速器,功率直接干到了1200瓦。这就像是用高压水枪去给花浇水,花直接被打烂了。

    “减弱光强?”助手建议,“加衰减片?”

    “不行!”梁国栋断然拒绝,“SSMB的优势就是大功率、高吞吐量。如果我们把光减弱了,那就失去了弯道超车的意义。必须让材料去适应光!”

    “老陈!”梁国栋对着对讲机吼道,“你的光刻胶到底行不行?能不能扛住这把火?”

    化工专家陈志平正穿着防护服,在旁边的配液室里像个老巫师一样调试着瓶瓶罐罐。

    “别催!催命呢!”

    陈志平满头大汗,“陶氏化学的顶级EUV光刻胶我也买不到了!现在用的是我自己调的配方!你要耐高温,我就得加抗热交联剂,但这会影响分辨率!”

    “我不管!”梁国栋红着眼,“哪怕你是用锅底灰调出来的,只要能扛住1200瓦的轰击,我就喊你叫爹!”

    “滚蛋!老子没你这么大的儿子!”

    陈志平骂骂咧咧,但手上的动作却更稳了。他深吸一口气,从恒温箱里取出一瓶刚刚合成的淡黄色液体。

    这是他在几千次实验中,偶然发现的一种“含氟聚合物配方”。它在极端光强下,不仅不会碳化,反而会发生一种奇异的“超感光反应”。

    “试试这个。”陈志平把瓶子递进传递窗,“这是第108号配方。如果这个还不行,我就把自己扔进加速器里炼了。”

    ……

    光刻机台前。

    朱教授也在拼命。

    他面临的问题更棘手——对准。

    SSMB光源是连续的、高频的。为了配合这种光,晶圆台的移动速度必须极快,才能保证曝光均匀。

    “速度太快,震动压不住啊!”

    朱教授盯着干涉仪的数据,“晶圆台一秒钟移动500毫米,急停的时候会有微米级的余震。对于7n工艺来说,这就像是八级地震。套刻误差直接爆表了。”

    “ASML是怎么解决的?”旁边的年轻工程师问。

    “ASML用的是德国蔡司的原子级反射镜和磁悬浮台,我们现在的供应链全断了,造不出来那么精密的。”朱教授咬着牙,“我们只能用土办法。”

    “什么土办法?”

    “以快制快,动态补偿。”

    朱教授看向一直在旁边敲代码的王博。

    “王博,你的‘夸父OS’能控制电子束,能不能控制我的工件台?”

    “你的意思是……”王博抬头,推了推那副快要滑下来的眼镜。

    “我在工件台上装了压电陶瓷传感器。震动波传导需要时间。只要你的算法够快,能不能在震动发生的前一毫秒,给电机一个反向的力,把它抵消掉?”

    “主动降噪耳机的原理?”王博秒懂。

    “对!给台子戴个降噪耳机!”

    “能搞!”王博眼中精光一闪,“我的蜂群算法连光速跑的电子都能按住,还按不住这块铁板?只要把控制频率拉到100kHz,我就能按住这头疯牛!”

    ……

    2019年2月4日。除夕夜。

    地表之上,平塘县的村寨里已经响起了稀疏的鞭炮声。大红灯笼挂了起来,年味儿正浓。

    但在地下400米,气氛凝重得几乎要爆炸。

    这是最后一次尝试。

    如果今晚拿不出合格的芯片,林向阳就没有底气在年后应对罗伯特的全面绞杀。

    “光刻胶涂布完毕。配方:陈氏108号。”“EDA布线检查:通过。”“工件台主动抑震系统:开启。”“光源功率:1000瓦(锁定)。”

    林向阳站在总控台前,手里拿着一部刚刚组装好的“火种7”工程机——它虽然做工精良,但里面是空的,因为它缺了一颗芯。

    他把手机放在桌上,目光如炬。

    “开始。”

    滋——滋——滋——

    这一次,光刻室里没有传来焦糊味。

    在高速相机的监控下,那束强悍的EUV光,像是一把精准的手术刀,快速而凌厉地扫过晶圆表面。

    陈志平的“108号配方”经受住了考验。它没有燃烧,而是瞬间完成了光化学反应,将掩膜版上的电路图,完美地“复印”在了硅片上。

    而朱教授的工件台,在王博算法的加持下,稳如泰山。每一次急停,反向力矩都会精准地抹平震动,就像一位武林高手在化解千钧之力。

    五分钟后。

    “曝光完成!送入刻蚀机!”

    又过了半小时。

    “清洗完成!去胶完成!”

    当机械臂托举着那片12英寸晶圆从传送口缓缓伸出时,所有人都屏住了呼吸。

    在显微镜的高倍镜头下。

    原本光洁的硅片表面,此刻布满了比迷宫还要复杂一万倍的电路纹路。

    那是68亿个晶体管。那是人类智慧的结晶。那是7n的物理极限。

    “上探针台!测良率!”梁国栋的声音都在发颤。

    滴——

    测试仪的屏幕上,晶圆图谱开始刷新。无数个绿色的小方块开始亮起。

    每一个绿点,代表一颗功能完好的芯片。

    10%……50%……80%……

    最终,数字定格。

    “Yield:92.4%”(良品率:92.4%)

    “哇!!!”

    梁国栋爆发出一声撕心裂肺的哭喊,整个人瘫软在地上。

    “成了!九成良率!比台积电早期还要高!”

    “我们做出来了!我们用国产的光刻胶、国产的EDA、山洞里的光,做出来了!”

    地下大厅瞬间变成了欢乐的海洋。

    朱教授摘下眼镜抹眼泪,陈志平把安全帽扔向空中,王博抱着电脑傻笑。

    林安然走到林向阳身边,递给他一片刚刚切割下来的芯片。

    那是一颗指甲盖大小的黑色方块。上面用激光蚀刻着一行微小的字:

    PANGUS8MadeGUIZHOU,A

    林向阳捏着这颗芯片。它还带着余温,烫得人心头发热。

    “美国封锁了EDA,我们自己写了。”“美国封锁了光刻胶,我们自己调了。”“美国封锁了台积电,我们自己造了厂。”

    林向阳看着芯片,轻声说道:

    “这不是一颗石头。这是一块砖。一块用来砸碎他们玻璃窗的砖。”

    他拿出手机。此时正是大年初一的零点。

    全中国的电视机里都在播放春节联欢晚会,欢声笑语一片。而在大洋彼岸,罗伯特·莱特正在等待着向阳集团破产的消息。

    “清河。”林向阳拨通了电话。

    “在。”苏清河的声音有些紧张。

    “发公告吧。”

    “内容呢?”

    “一张图,一句话。”

    ……

    五分钟后。

    向阳集团的官方微博、推特、Facebook同时更新了一条动态。

    没有长篇大论的辩解,没有悲情的诉苦。

    只有一张黑底红字的海报。

    海报中央,是一束刺破黑暗的、耀眼的翠绿色光束。光束的尽头,悬浮着一颗芯片。

    配文只有一行字:

    “听说有人想把我们关在黑屋子里?不好意思,我们自带了手电筒。”“2019.2.15,向阳集团春季发布会。盘古S8,如约而至。”

    轰——!

    这条微博发出的一瞬间,整个互联网炸锅了。

    还在过年的中国网民们沸腾了。持有向阳关联股票的股民们欢呼了。而在华盛顿,罗伯特·莱特看着那张海报,手中的酒杯“啪”的一声掉在地毯上。

    “What...?”

    他难以置信地盯着那束绿色的光。

    “EUV?他们哪里来的EUV?ASML明明没有发货!”

    “那是绿光……不是ASML的粉红光……”

    罗伯特突然感到一阵莫名的恐惧。那是对未知的恐惧。

    他以为自己封死了一切门窗,但中国人却在地下挖了一条通往未来的隧道。

    2019年的春节。烟花璀璨。但在贵州的深山里,那一束看不见的光,才是真正照亮中国科技前程的最美烟火。
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